-
Alumina yuqori aniqlikdagi keramik halqali keramik qismlar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
ST.CERA tomonidan tayyorlangan yarimo'tkazgichli uskunalar keramik patronlar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Silikon karbid (SiC) keramik uch effektori – yuqori haroratli gofret bilan ishlash uchun yuqori qattiqlik
St.Cera'ning SiC keramik uch effektori yuqori toza kremniy karbididan (SiC miqdori 99,72%, erkin Si 0,05%) S1111 partiyasi materialidan foydalangan holda ishlab chiqariladi. U ajoyib mexanik xususiyatlarga ega: egilish kuchi 449 MPa (o'lchangan), elastiklik moduli 457 GPa (o'lchangan) va Vickers qattiqligi 25–28 GPa (odatiy). Past zichlik (odatda 3,10–3,15 g/sm³) yuqori tezlikdagi plastinka uzatish robotlari uchun ideal bo'lgan yuqori o'ziga xos qattiqlikni ta'minlaydi. 120–150 Vt/m·K (odatiy) issiqlik o'tkazuvchanligi va 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (odatiy) issiqlik kengayish koeffitsienti bilan ushbu uch effektor yuqori haroratli ishlov berish paytida (1600–1700°C gacha, yuklamasdan) issiqlikni samarali ravishda tarqatadi va o'lchovli barqarorlikni saqlaydi. Qora/kulrang rang va nol suv singdirish toza xonaga mos kelishini ta'minlaydi.
-
Yuqori haroratli va plazma muhitlari uchun kremniy karbid (SiC) asosidagi vakuumli patron
St.Cera kompaniyasining SiC asosidagi keramik patron yuqori toza kremniy karbididan ishlab chiqariladi (partiya S1111, SiC 99.72%, erkin Si 0.05%). U 449 MPa o'lchangan egilish kuchini, 3.12 MPa·m¹/² sinish chidamliligini va 457 GPa elastiklik modulini ta'minlaydi. Materialning odatiy issiqlik o'tkazuvchanligi (120–150 Vt/m·K) va past issiqlik kengayishi (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) issiqlik aylanishi paytida haroratning tez ko'tarilishini va plastinkaning minimal egriligini ta'minlaydi. Patron g'ovakli vakuum patron (bir xil gaz oqimi) yoki yivli standart patron sifatida sozlanishi mumkin. Maksimal foydalanish harorati 1600–1700°C (yuksiz) va plazma eroziyasiga chidamliligi yuqori bo'lgan ushbu patron yuqori haroratli plastinkalarni qayta ishlash (yumshatish, RTP) va alyuminiy oksidi patronlari parchalanadigan agressiv aşındırma kameralari uchun idealdir.
-
Yarimo'tkazgich uskunalari Keramik ehtiyot qismlar Keramik tashuvchilar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Yuqori qattiqlikdagi qoplama uchun metall bilan qoplangan alyuminiy oksidli keramik silliqlash halqasi
St.Cera metall asosidagi alyumin silliqlash halqasi yuqori tozalikdagi alyumin (99,8% Al₂O₃) keramik aşınma qatlamini aniq ishlov berilgan metall asos (odatda alyuminiy yoki zanglamaydigan po'lat) bilan birlashtiradi. Ushbu gibrid dizayn silliqlash yuzasida keramikaning ajoyib aşınma qarshiligi va kimyoviy inertligini ta'minlaydi, metall asos esa mexanik mustahkamlik, oson o'rnatish va mo'rt sinishlarga qarshilik qo'shadi. Alumin qatlami 361 MPa egilish kuchini, 16 GPa Vickers qattiqligini va 800°C gacha issiqlik barqarorligini ta'minlaydi. Metall asos o'rnatish teshiklari, joylashuv pinlari yoki silliqlash mashinalari, sayyoraviy silliqlash mashinalari va CMP uskunalariga integratsiya qilish uchun magnit xususiyatlar bilan moslashtirilgan.
-
Yarimo'tkazgichli zond stantsiyasi uskunalari uchun keramik ehtiyot qismlar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Al2O3 keramik gofret chuckini maxsus qayta ishlash
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
ST.CERA moslashtirilgan yarimo'tkazgichli uskunalar keramik plitasi
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
300 mm gofretni qayta ishlash uchun 12 dyuymli alumina vakuumli patron
St.Cera’ning 12 dyuymli vakuum patroni 300 mm plastinka bilan ishlash uchun 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan (Al₂O₃) aniq ishlab chiqilgan. Patron butun 300 mm diametr bo'ylab vakuumning bir xil taqsimlanishini ta'minlash uchun nozik olukli sirtga ega (oluk kengligi 0,5–1,0 mm, qadam 2–3 mm). Tekislik 5 mkm ichida saqlanadi, bu esa maydalash, orqa tomondan silliqlash va tekshirish paytida plastinkani deformatsiyasiz mahkamlash imkonini beradi. Materialning yuqori egilish kuchi (361 MPa) va qattiqligi (16 GPa) takroriy vakuum sikllari ostida ham uzoq muddatli o'lchovli barqarorlikni kafolatlaydi.
-
Integratsiyalashgan vakuum kanallari bilan alyuminiy oksidli keramik uch effektori
St.Cera kompaniyasining alyuminiy oksidi vakuum effektori aniq ishlov berilgan vakuum kanallari va so'rish teshiklarini to'g'ridan-to'g'ri 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksidi korpusiga birlashtiradi. Ushbu dizayn tashqi vakuum prokladkalarini yo'q qiladi, bu esa plastinkani bir xil ushlab turish kuchi bilan to'g'ridan-to'g'ri olish imkonini beradi. Materialning yuqori egilish kuchi (361 MPa) va qattiqligi (16 GPa) takroriy vakuum sikllari ostida uzoq muddatli o'lchovli barqarorlikni ta'minlaydi. Prokladka maydoni bo'ylab tekislik 10 mkm ichida saqlanadi, bu plastinkaning kuchlanishi va sinishining oldini oladi. Vakuum portlari OEM robot qo'llari bilan oson integratsiyalashish uchun orqa o'rnatish flanesida joylashgan.
-
Statik sezgir gofretlarni qayta ishlash uchun ESD-xavfsiz alumina keramik qismlari
St.Cera kompaniyasining ESD (elektrostatik razryad) uchun xavfsiz alyumin oksidi keramik qismlari 99,8% yuqori tozalikdagi Al₂O₃ dan ishlab chiqariladi, bu esa 10⁶–10⁹ Ω/sq maxsus sirt qarshiligi bilan maxsus qo'shimcha yoki qoplama jarayoni orqali erishiladi. Ushbu qismlar statik zaryadni samarali ravishda yo'qotadi, sezgir yarimo'tkazgichli plastinkalar va qurilmalarga elektrostatik shikastlanishning oldini oladi. Asosiy material o'zining yuqori egilish kuchini (361 MPa), qattiqligini (16 GPa) va dielektrik kuchini (15 × 10⁶ V/m) saqlab qoladi. ESD uchun xavfsiz keramik qismlarga FAB avtomatlashtirish uchun so'nggi effektorlar, ko'taruvchi pinlar, yo'naltiruvchi relslar va maxsus moslamalar kiradi.
