300 mm gofretni qayta ishlash uchun 12 dyuymli alumina vakuumli patron
St.Cera’ning 12 dyuymli vakuum patroni 300 mm plastinka bilan ishlash uchun 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan (Al₂O₃) aniq ishlab chiqilgan. Patron butun 300 mm diametr bo'ylab vakuumning bir xil taqsimlanishini ta'minlash uchun nozik olukli sirtga ega (oluk kengligi 0,5–1,0 mm, qadam 2–3 mm). Tekislik 5 mkm ichida saqlanadi, bu esa maydalash, orqa tomondan silliqlash va tekshirish paytida plastinkani deformatsiyasiz mahkamlash imkonini beradi. Materialning yuqori egilish kuchi (361 MPa) va qattiqligi (16 GPa) takroriy vakuum sikllari ostida ham uzoq muddatli o'lchovli barqarorlikni kafolatlaydi.
Texnik xususiyatlar (99,8% Al₂O₃ asosida):
| Mulk | Qiymat |
| Diametri | 300 mm (12 dyuym) |
| Materiallar | 99,8% alyuminiy oksidi (fil suyagi) |
| Zichlik | 3,93 g/sm³ |
| Bükülme kuchi | 361 MPa |
| Vickers qattiqligi | 16 GPa |
| Tekislik (300 mm dan ortiq) | ≤5 mkm |
| Yiv kengligi | 0,5–1,0 mm |
| Maksimal ish harorati | 800°C |
| Dielektrik kuch | 15×10⁶ V/m |
Ilovalar:
300 mm gofretni maydalash va chizish
Plastinkaning orqa tomonini silliqlash (yupqa plastina tayanchi)
Optik tekshirish va zondlash
Vaqtinchalik bog'lash/bog'lanishni olib tashlash patronlari
Ishlab chiqarish:
CNC silliqlash va yakuniy tekislikka qadar tekkizish, olmos g'ildiraklar bilan oluklar yasash, ultratovush yordamida tozalash va 100-sinf toza xonasiga qadoqlash. Har bir patron 100% tekislik (lazer interferometri) va oluk chuqurligi (profilometr) uchun tekshiriladi.
Afzalliklari:
Zarrachalarning kam hosil bo'lishi (≤0,05 zarracha/sm²)
Erituvchilar va kislotalarga kimyoviy jihatdan inert
ESD uchun xavfsiz sirt (qarshilik >10¹³ Ω·sm)
Maxsus vakuum teshiklari naqshlari va orqa portlar mavjud.
