Yuqori haroratli va plazma muhitlari uchun kremniy karbid (SiC) asosidagi vakuumli patron
St.Cera kompaniyasining SiC asosidagi keramik patron yuqori toza kremniy karbididan ishlab chiqariladi (partiya S1111, SiC 99.72%, erkin Si 0.05%). U 449 MPa o'lchangan egilish kuchini, 3.12 MPa·m¹/² sinish chidamliligini va 457 GPa elastiklik modulini ta'minlaydi. Materialning odatiy issiqlik o'tkazuvchanligi (120–150 Vt/m·K) va past issiqlik kengayishi (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) issiqlik aylanishi paytida haroratning tez ko'tarilishi va plastinkaning minimal egilishi imkonini beradi. Patron g'ovakli vakuum patron (bir xil gaz oqimi) yoki yivli standart patron sifatida sozlanishi mumkin. Maksimal foydalanish harorati 1600–1700°C (yuksiz) va plazma eroziyasiga chidamliligi yuqori bo'lgan ushbu patron yuqori haroratli plastinkalarni qayta ishlash (yumshatish, RTP) va alyuminiy oksidi patronlari parchalanadigan agressiv aşındırma kameralari uchun idealdir.
Texnik xususiyatlar(taqdim etilgan SiC S1111 sinov hisoboti va odatiy qiymatlar asosida)):
| Mulk | Qiymat |
| Materiallar | SiC (99.72% SiC, 0.05% Erkin Si) |
| Zichlik | 3.10–3.15 g/sm³ |
| Suvni yutish | 0% |
| Bükülme kuchi | 449 MPa |
| Sinishga chidamlilik | 3.12 MPa·m¹/² |
| Elastik modul | 457 GPa |
| Vickers qattiqligi | 25–28 GPa |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi | 120–150 Vt/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimal foydalanish harorati (yuk yo'q) | 1600–1700°C |
| Tekislik (300 mm dan ortiq) | ≤5 mkm |
| Yuzaki qoplama | Ra ≤0.4 μm (qoplangan) |
Ilovalar:
● Yuqori haroratli burg'ulash (tavlash, RTP, epitaksial o'sish)
● Yuqori ftor qarshiligiga ega plazma o'ymakorligi patroni
● Yupqa plastinka bilan ishlash, bir xil isitish/sovutish
● Kontaktsiz gofret tayanchi uchun g'ovakli patron
Ishlab chiqarish:
SiC sinterlash → tekislik va sirt profilini aniq silliqlash → ixtiyoriy g'ovakli tuzilish hosil qilish (vakuum patron uchun) → lapping → ultratovushli tozalash. Har bir patron 100% tekislik (lazer interferometri) va vakuumning bir xilligi (oqim sinovi) uchun tekshiriladi.
Sifat nazorati:
● CMM o'lchovli tekshiruvi (diametri, qalinligi, teshik holati)
● ASTM bo'yicha tekislikni o'lchash
● Geliy oqishini tekshirish (vakuum patronlari uchun)
● Har bir partiya uchun egilish kuchini tekshirish (sinov hisobotiga qarang)
Alumina Chucksga nisbatan afzalliklari:
● Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi (alyuminiy oksidi uchun 120–150 va 32 Vt/m·K) – 4 baravar tezroq issiqlik uzatish
● Pastroq CTE (4.0 va 7.2×10⁻⁶/℃) – plastinka termal stressini kamaytiradi
● Yuqori plazma qarshiligi – ftorli ishlov berishda 10 baravar ko'proq umr ko'rish muddati
● Yuqori maksimal foydalanish harorati (alyuminiy oksidi uchun 1600°C va 800°C)
Moslashtirish:
● G'ovakli yoki yivli sirt
● Diametri 100–450 mm, yumaloq yoki kvadrat
● Chetga yopishtiruvchi halqa yoki zona vakuum bo'linmalari
● Yuqori qattiqlikdagi o'rnatish uchun metall tayanch varianti
Yuqoridagi barcha mexanik ma'lumotlar taqdim etilgan sinov hisobotidan olingan (partiya S1111). Issiqlik va qattiqlik qiymatlari ushbu SiC sinfi uchun odatiy hisoblanadi. G'ovakli SiC patronlari qo'shimcha ishlov berishni talab qiladi; iltimos, ma'lum g'ovaklilik va g'ovak o'lchamlari mavjudligi haqida so'rang.
