Silikon karbid (SiC) keramik uch effektori – yuqori haroratli gofret bilan ishlash uchun yuqori qattiqlik
St.Cera'ning SiC keramik uch effektori yuqori toza kremniy karbididan (SiC miqdori 99,72%, erkin Si 0,05%) S1111 partiyasi materialidan foydalangan holda ishlab chiqariladi. U ajoyib mexanik xususiyatlarga ega: egilish kuchi 449 MPa (o'lchangan), elastiklik moduli 457 GPa (o'lchangan) va Vickers qattiqligi 25–28 GPa (odatiy). Past zichlik (odatda 3,10–3,15 g/sm³) yuqori tezlikdagi plastinka uzatish robotlari uchun ideal bo'lgan yuqori o'ziga xos qattiqlikni ta'minlaydi. 120–150 Vt/m·K (odatiy) issiqlik o'tkazuvchanligi va 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (odatiy) issiqlik kengayish koeffitsienti bilan ushbu uch effektor yuqori haroratli ishlov berish paytida (1600–1700°C gacha, yuklamasdan) issiqlikni samarali ravishda tarqatadi va o'lchovli barqarorlikni saqlaydi. Qora/kulrang rang va nol suv singdirish toza xonaga mos kelishini ta'minlaydi.
Texnik xususiyatlar(taqdim etilgan SiC S1111 sinov hisoboti va odatiy qiymatlar asosida)):
| Mulk | Qiymat |
| Materiallar | SiC (99.72% SiC, 0.05% Erkin Si) |
| Rang | Qora/Kulrang |
| Zichlik | 3.10–3.15 g/sm³ |
| Suvni yutish | 0% |
| Bükülme kuchi | 449 MPa (o'rtacha) |
| Sinishga chidamlilik | 3.12 MPa·m¹/² (o'rtacha) |
| Elastik modul | 457 GPa |
| Vickers qattiqligi | 25–28 GPa |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi (25°C) | 120–150 Vt/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimal foydalanish harorati (yuk yo'q) | 1600–1700°C |
Ilovalar:
● Yuqori haroratli gofret bilan ishlov berish (tavlashdan keyingi, RTP, epitaksiya)
● Yuqori eroziyaga chidamlilikni talab qiladigan plazma o'yma kameralari
● Yuqori tezlikdagi uzatish robotlari (yengil, yuqori qattiqlik)
Ishlab chiqarish:
SiC kukuni sinterlash → qo'l profilini va o'rnatish xususiyatlarini aniq CNC silliqlash → sirtni silliqlash → ultratovushli tozalash. Vakuumli qo'llanmalar uchun 100% o'lchovli tekshirish va geliy oqishini tekshirish.
Sifat nazorati:
● Uzunlik, kenglik va tekislikni CMM tekshiruvi
● Har bir partiya uchun egilish kuchini sinovdan o'tkazish (sinov hisoboti standarti bo'yicha)
● Sirt nuqsonlarini mikroskop ostida vizual tekshirish
Alumina yoki metallga nisbatan afzalliklari:
● 2 barobar yuqori elastiklik moduli (alyuminiy oksidi uchun 457 va ~380 GPa) – kamroq og'ish
● 3 barobar yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi – tezroq issiqlik tarqalishi
● Havoda 800°C alyuminiy oksidiga nisbatan 1600°C dan yuqori haroratga bardosh beradi
● Po'latdan pastroq zichlik – og'irlikni 40% ga kamaytirish
Moslashtirish:
Uzunligi 150–450 mm, uchi shakllari (chekka tutqich, Bernoulli, yassi), OEM chizmasiga muvofiq o'rnatish gardish naqshlari.
*Yuqoridagi barcha mexanik ma'lumotlar taqdim etilgan sinov hisobotidan olingan (partiya S1111). Issiqlik va qattiqlik qiymatlari ushbu SiC darajasi uchun odatiy hisoblanadi; partiyaga xos sertifikatlash uchun biz bilan bog'laning.*
