-
Al2O3 keramik gofret chuckini maxsus qayta ishlash
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
ST.CERA moslashtirilgan yarimo'tkazgichli uskunalar keramik plitasi
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
300 mm gofretni qayta ishlash uchun 12 dyuymli alumina vakuumli patron
St.Cera’ning 12 dyuymli vakuum patroni 300 mm plastinka bilan ishlash uchun 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan (Al₂O₃) aniq ishlab chiqilgan. Patron butun 300 mm diametr bo'ylab vakuumning bir xil taqsimlanishini ta'minlash uchun nozik olukli sirtga ega (oluk kengligi 0,5–1,0 mm, qadam 2–3 mm). Tekislik 5 mkm ichida saqlanadi, bu esa maydalash, orqa tomondan silliqlash va tekshirish paytida plastinkani deformatsiyasiz mahkamlash imkonini beradi. Materialning yuqori egilish kuchi (361 MPa) va qattiqligi (16 GPa) takroriy vakuum sikllari ostida ham uzoq muddatli o'lchovli barqarorlikni kafolatlaydi.
-
Yarimo'tkazgichli zond uskunalari uchun keramik ehtiyot qismlar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Keramik plastinka yarimo'tkazgich uskunalari tashuvchisi
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Yarimo'tkazgich uskunalari keramik ehtiyot qismlari
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Yuqori haroratli kamerani muhrlash uchun yuqori tozalikdagi alumina keramik muhr uzuklari
St.Cera keramik muhr halqasi elastomerlar parchalanadigan ekstremal muhitlarda polimer O-halqalariga alternativa sifatida ishlab chiqilgan. 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan ishlab chiqarilgan ushbu qattiq muhr halqasi statik muhrlash dasturlarida - odatda yumshoq metall yoki grafit qistirmalari bilan birgalikda - 800°C gacha bo'lgan haroratlarda va agressiv plazma yoki kimyoviy muhitda ishonchli vakuum yoki gazni saqlashni ta'minlash uchun ishlatiladi. Material nol gaz chiqarishga, yuqori siqish kuchiga (asosiy egilish kuchi 361 MPa) va kimyoviy inertlikka (HFdan tashqari galogenlar, kislotalar va ishqorlarga chidamli) ega. Aniq qoplamali muhrlash yuzalari (tekislik ≤5 μm, sirt pürüzlülüğü Ra ≤0,2 μm) birlashtiruvchi metall yoki keramik komponentlar bilan oqish o'tkazmaydigan aloqani ta'minlaydi.
-
Plazma o'ymakorligi va yurak-qon tomir tizimlari uchun yuqori tozalikdagi alyuminiy oksidi kamerasining fokus halqasi
St.Cera kamerasining fokus halqasi plazma o'ymakorligi, CVD va PVD yarimo'tkazgich uskunalarida ishlatiladigan muhim jarayon to'plami komponentidir. 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan (Al₂O₃) ishlab chiqarilgan halqa plazmani cheklash va ion burchak taqsimotini optimallashtirish uchun plastinka chetini o'rab oladi, shu bilan plastinka yuzasi bo'ylab o'ymakorlikning bir xilligini yaxshilaydi. Material ajoyib plazma qarshiligi, yuqori dielektrik kuchi (15 × 10⁶ V/m) va 1600°C gacha issiqlik barqarorligini ta'minlaydi, bu esa agressiv ftor yoki xlor asosidagi plazma muhitida uzoq muddatli ishonchlilikni ta'minlaydi. Aniq yerga ulash ID/OD va tekislik (≤10 μm) plastinka chetini aniq joylashtirish imkonini beradi, chekka nuqsonlari va zarrachalar hosil bo'lishini kamaytiradi.
-
CVD / PVD jarayon kameralari uchun yuqori tozalikdagi alumina keramik halqasi
St.Cera keramik halqasi CVD (Kimyoviy bug'larni cho'ktirish) va PVD (Fizik bug'larni cho'ktirish) jarayon kameralarida foydalanish uchun maxsus ishlab chiqilgan. 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan (Al₂O₃) ishlab chiqarilgan ushbu halqa plazmani cheklash va kamera devorlarini eroziyadan himoya qilish uchun kamera layneri, fokus halqasi yoki jarayon to'plami komponenti bo'lib xizmat qiladi. Material ajoyib plazma qarshiligi, yuqori dielektrik kuchi (15 × 10⁶ V/m) va 1600°C gacha issiqlik barqarorligini ta'minlaydi, bu esa agressiv ftor asosidagi plazma muhitida uzoq xizmat qilish muddatini ta'minlaydi. Aniq o'lchovli toleranslar (ID/OD da ±0,05 mm) va tekislik (≤10 μm) plastinka chetlarini izchil joylashtirish imkonini beradi, cho'kma bir xilligini yaxshilaydi va zarrachalar hosil bo'lishini kamaytiradi.
-
Buzilgan gofret bilan ishlash uchun g'ovakli keramik vakuumli patron
St.Cera kompaniyasining g'ovakli keramik patroni yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan ishlab chiqarilgan bo'lib, uning ochiq g'ovakligi 30–45% ni tashkil qiladi va g'ovak o'lchamlari 10 dan 100 mkm gacha. An'anaviy yivli patronlardan farqli o'laroq, g'ovakli sirt plastinkaning butun orqa tomoni bo'ylab taqsimlangan vakuumni ta'minlaydi, qirrasi ko'tarilmasdan yoki sinib ketmasdan qiyshiq, yupqa yoki yakkalangan plastinkalarni samarali ushlab turadi. Yumshoq vakuum (cheklovchi orqali sozlanishi mumkin) shuningdek, orqa tomonda belgilar paydo bo'lishining oldini oladi.
-
Yupqa gofret bilan ishlash uchun alyuminiy asosidagi g'ovakli keramik vakuumli patron
St.Cera kompaniyasining alyuminiy oksidi asosidagi g'ovak patroni 99,6% yuqori tozalikdagi Al₂O₃ dan tayyorlanadi, ochiq g'ovakligi 30–45% ni tashkil qiladi va g'ovaklikning bir xil o'lchami 10 dan 50 mkm gacha. Olukli patronlardan farqli o'laroq, g'ovak sirt plastinkaning butun orqa tomoni bo'ylab taqsimlangan vakuumni ta'minlaydi, chekka belgilarini yo'q qiladi va o'ta yupqa (≤100 mkm) yoki egri plastinkalarni yumshoq ushlab turish imkonini beradi. Material egilish kuchi ≥250 MPa va havoda 400°C gacha issiqlik barqarorligini ta'minlaydi.
-
CVD/PVD dush kallagi uchun alyuminiy oksidi gaz taqsimlash plitasi
St.Cera gaz taqsimlash plitasi (dush kallagi) yuqori tozalikdagi 99,8% alumina keramikasidan aniq ishlov berilgan. U CVD, PVD yoki ALD jarayonlari paytida plastinka yuzasi bo'ylab bir xil gaz oqimini ta'minlaydigan bir qator mikro-teshiklarga (diametri 0,3–1,5 mm) ega. Plastinkaning yuqori dielektrik kuchi (>15 × 10⁶ V/m) va plazma qarshiligi uni yarimo'tkazgichli yupqa plyonkali cho'ktirish uchun zarur qiladi.
