-
Gofret bilan ishlash uchun yuqori tozalikdagi alumina keramik robot qo'li
St.Cera kompaniyasining alyumin oksidi keramik robot qo'li 99,8% yuqori tozalikdagi Al₂O₃ (alyuminiy oksidi) dan aniq ishlab chiqilgan. U ajoyib egilish kuchi (361 MPa), yuqori qattiqlik (16 GPa) va past zichlik (3,93 g/sm³) ni birlashtiradi, natijada yarimo'tkazgichli plastinkalarni uzatish uchun yengil, ammo qattiq qo'l hosil bo'ladi. Materialning issiqlik kengayish koeffitsienti (7,2 × 10⁻⁶/°C) kremniyga juda mos keladi, bu esa ishlov berish paytida issiqlik nomuvofiqligini minimallashtiradi.
-
Bernoulli keramik uchi effektori — Yupqa va mo'rt plitalar uchun kontaktsiz plastinka bilan ishlov berish
St.Cera'ning Bernoulli keramik uch effektori plastinalarni jismoniy aloqasiz boshqarish uchun aerodinamik ko'tarishdan foydalanadi. Yuqori tozalikdagi 99,8% alyuminiy oksidi (Al₂O₃) yoki kremniy karbididan (SiC) ishlab chiqarilgan bo'lib, u aniq ishlov berilgan nozullarga ega bo'lib, ular bosimli gazni chiqarib, uch effektor va plastina o'rtasida yupqa havo plyonkasini hosil qiladi. Ushbu kontaktsiz printsip orqa tomondan ifloslanishni, chekkalarning yorilishi va sirt shikastlanishini bartaraf etadi, bu esa uni yupqa (≤100 μm), mo'rt yoki qiyshiq plastinalar uchun ideal qiladi. Keramik substrat yuqori egilish kuchini (Al₂O₃ uchun 361 MPa; SiC uchun 550–600 MPa gacha), past massa va a'lo o'lchovli barqarorlikni ta'minlaydi, bu esa yuqori tezlikdagi plastinalarni uzatish robotlarida takrorlanadigan joylashishni ta'minlaydi.
-
Teflon qoplamali keramik uch effektori – sezgir gofret bilan ishlash uchun yopishmaydigan sirt
St.Cera'ning Teflon (PTFE) bilan qoplangan keramik uch effektori yuqori mustahkamlikdagi alumina substratini bir xil, past ishqalanishli PTFE qoplamasi (qalinligi 15–30 mkm) bilan birlashtiradi. Qoplama juda past ishqalanish koeffitsientini (≤0.1), ajoyib kimyoviy qarshilikni va yopishmaydigan xususiyatlarni ta'minlaydi, plastinka yopishishini oldini oladi va orqa tomondan ifloslanishni yo'q qiladi. Asosiy keramik substrat (99.8% Al₂O₃) yuqori egilish kuchini (361–1000 MPa), aşınmaya bardoshlilikni va 260°C gacha issiqlik barqarorligini (qoplama chegarasi) ta'minlaydi. Ushbu uch effektor nozik, yupqa yoki yopishqoq plastinkalarni qayta ishlash uchun ideal (masalan, fotorezist qoplamasi yoki kimyoviy jarayonlardan keyin).
