Bernoulli keramik uchi effektori — Yupqa va mo'rt plitalar uchun kontaktsiz plastinka bilan ishlov berish

St.Cera'ning Bernoulli keramik uch effektori plastinalarni jismoniy aloqasiz boshqarish uchun aerodinamik ko'tarishdan foydalanadi. Yuqori tozalikdagi 99,8% alyuminiy oksidi (Al₂O₃) yoki kremniy karbididan (SiC) ishlab chiqarilgan bo'lib, u aniq ishlov berilgan nozullarga ega bo'lib, ular bosimli gazni chiqarib, uch effektor va plastina o'rtasida yupqa havo plyonkasini hosil qiladi. Ushbu kontaktsiz printsip orqa tomondan ifloslanishni, chekkalarning yorilishi va sirt shikastlanishini bartaraf etadi, bu esa uni yupqa (≤100 μm), mo'rt yoki qiyshiq plastinalar uchun ideal qiladi. Keramik substrat yuqori egilish kuchini (Al₂O₃ uchun 361 MPa; SiC uchun 550–600 MPa gacha), past massa va a'lo o'lchovli barqarorlikni ta'minlaydi, bu esa yuqori tezlikdagi plastinalarni uzatish robotlarida takrorlanadigan joylashishni ta'minlaydi.

Materiallar haqida eslatma:Alumina (Al₂O₃) qattiqlik, elektr izolyatsiyasi, kimyoviy barqarorlik va iqtisodiy samaradorlikning ajoyib kombinatsiyasi tufayli yarimo'tkazgichli plastinkalarni qayta ishlashda keramika effektorlari uchun eng keng tarqalgan materialdir. Kremniy karbidi (SiC) eng talabchan ilovalar uchun yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi, yuqori qattiqlik va undan ham yaxshiroq aşınma qarshiligini taklif etadi. Itriya bilan stabilizatsiya qilingan tsirkoniy (ZrO₂) xona haroratida yuqori sinish chidamliligini taklif qilsa-da, yuqori zichligi va turli xil issiqlik kengayish xususiyatlari tufayli bu sohada kamroq qo'llaniladi; u favqulodda sinish chidamliligi talab qilinadigan muayyan stsenariylar uchun ko'rib chiqilishi mumkin. Materiallarni tanlash bo'yicha ko'rsatmalar olish uchun iltimos, texnik guruhimizga murojaat qiling.

Texnik xususiyatlar(99,8% Al asosida)₂O₃):

Ishlash printsipi:

Siqilgan havo yoki azot (0,2–0,6 MPa) ichki kanallar orqali yetkazib beriladi va aniq nozullar orqali chiqadi. Tezlashtirilgan havo oqimi oxirgi effektor ustida past bosimli zonani hosil qiladi (Bernoulli effekti), bu esa plastinkani 50–200 mkm oralig'ida ushlab turadigan ko'tarish kuchini hosil qiladi. Plitaning orqa tomoniga vakuum teshiklari yoki prokladkalar tegmaydi.

Ilovalar:

• · Orqa tomondan silliqlashdan keyin yupqa plastinka (≤50 μm) bilan ishlov berish
• · Egri plastinka tashish (masalan, CVD yoki tavlashdan keyin)
• · Quyosh batareyasi va LED sapfir substratini uzatish
• · Nol zarracha hosil bo'lishini talab qiladigan toza xonani avtomatlashtirish
• · Displey ishlab chiqarishda shisha panellarni qayta ishlash

Ishlab chiqarish jarayoni:

Yuqori tozalikdagi kukundan sinterlangan keramik substrat → Gaz kanallari va shlang teshiklarini 5 o'qli CNC ishlov berish (diametri 0,3–1,0 mm, bardoshlik ±0,01 mm) → Ra ≤0,4 μm gacha sirtni silliqlash → ultratovushli tozalash → geliy oqishini tekshirish (gaz kanallari). Qoplama talab qilinmaydi — yalang'och keramik sirt kimyoviy jihatdan inert va ifloslantirmaydi.

Sifat nazorati:

• · Nozullarning joylashuvi, qo'l uzunligi va tekisligini 100% o'lchovli tekshirish (CMM)
• · Havo oqimining bir xilligi sinovi: barcha nozullar bo'ylab bosim pasayishi ≤5%
• · Oqish sinovi: gaz kanallari 0,6 MPa da muhrlangan, 30 soniyadan ortiq bosim pasayishi kuzatilmagan
• · Mikro yoriqlar yoki burmalar uchun 20x mikroskop ostida vizual tekshirish

AAn'anaviy kontaktli effektorlarga nisbatan afzalliklari:

• · Gofretning orqa tomonida nol ifloslanish — mexanik aloqa yo'q
• · Yupqa plastinkalarning chekkalari yorilib ketmaydi yoki sinib ketmaydi
• · Barqaror bo'shliqqa ega egri gofretlarni (1 mm gacha kamon) ushlab turadi
• · Vakuum generatori va g'ovakli patronni parvarish qilishni bartaraf etadi
• · Keramik konstruksiya aşınmaya va kimyoviy hujumga chidamli

Moslashtirish:

• · 200 mm, 300 mm yoki maxsus gofret o'lchamlari uchun mavjud
• · Gaz naychalarining naqshlari: tekis, burchakli yoki girdobli turlari
• · Materiallar: alumina (standart) yoki kremniy karbidi (eng yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va aşınmaya bardoshliligi uchun)
• · OEM chizmasiga muvofiq qo'l uzunligi, o'rnatish gardishi va gaz portining joylashuvi

Cheklovlar:

Bernulli printsipini amalga oshirish (nozul dizayni, havo oralig'i) taqdim etilgan material xususiyatlari jadvallaridan tashqarida. Yuqoridagi mexanik va issiqlik xususiyatlari 99,8% Al₂O₃ uchun berilgan ma'lumotlar jadvallariga qat'iy amal qiladi. Ushbu material xususiyatlariga asoslanib, bosim ostidagi keramik gaz oqimining ishlashi yomonlashishi kutilmaydi. Gaz oqimiga sezgir bo'lgan plitalar uchun (masalan, mo'rt tuzilmalarga ega MEMS) gaz bosimi va nozul dizayni shunga mos ravishda sozlanishi kerak.