ST.CERA tomonidan tayyorlangan yarimo'tkazgichli keramik fokus halqasi
Yuqori tozalikdagi (99,5% dan yuqori) alumina keramikasidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash orqali hosil qilingan va yuqori harorat ostida sinterlangan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin.
Yuqori haroratga chidamlilik, korroziyaga chidamlilik, aşınmaya bardoshlilik va izolyatsiya xususiyatlari bilan keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
