Egri va yupqa gofret bilan ishlash uchun metall bilan qoplangan g'ovakli SiC vakuumli patron
St.Cera metall asosidagi keramik vakuum patroni g'ovakli kremniy karbid (SiC) keramik qatlamini aniq ishlov berilgan metall asos (alyuminiy yoki zanglamaydigan po'lat) bilan birlashtiradi. G'ovakli SiC materiali (ko'k-qora, g'ovakliligi 35–40%, g'ovakligi 20–30 mkm, o'tkazuvchanligi 60 ml/sm²·min) butun plastinka yuzasi bo'ylab bir tekis, yumshoq vakuum taqsimlanishini ta'minlaydi, chekka belgilarini yo'q qiladi va yupqa (≤100 mkm) yoki egri plastinkalar uchun kontaktsiz tayanchni ta'minlaydi. SiC qatlami past issiqlik kengayishi (3,5 × 10⁻⁶/℃), 1000°C gacha issiqlik barqarorligi va o'rtacha egilish kuchini (32–35 MPa) ta'minlaydi. Metall asos strukturaviy qattiqlikni, tishli teshiklar orqali oson o'rnatilishini va mo'rt sinishdan himoya qilishni qo'shadi. Ushbu patron plastinkani orqa tomondan silliqlash, maydalash va yuqori haroratli plastinkalarni qayta ishlash uchun idealdir, bu yerda bir xil vakuum va issiqlik mosligi juda muhimdir.
Texnik xususiyatlar (berilgan g'ovakli SiC ma'lumotlari asosida):
| Mulk | Qiymat |
| Keramik material | G'ovakli kremniy karbidi (SiC ≥80%) |
| Rang | Moviy-qora |
| G'ovaklik | 35–40% |
| Teshik hajmi | 20–30 mkm |
| Zichlik | 2,1–2,3 g/sm³ |
| O'tkazuvchanlik | 60 ml/sm²·min |
| Bükülme kuchi | 32–35 MPa |
| Issiqlik kengayish koeffitsienti (25-1000°C) | 3.5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimal ish harorati | 1000°C |
| Elektr qarshiligi | 10⁻¹⁰ Ω/sm (berilgan ma'lumotlarga ko'ra, g'ovakli SiC uchun odatiy) |
| Metall asos materiali | Alyuminiy 6061 yoki zanglamaydigan po'lat 304 (ixtiyoriy) |
| Metall asos qalinligi | 10–30 mm (maxsus) |
Izoh: G'ovakligi tufayli egilish kuchi zich SiC dan pastroq. Metall asos xususiyatlari keramik stollardan olinmagan.
Ilovalar:
- · Yupqa plastinkalarni orqa tomondan silliqlash (≤100 mkm)
- · Kesish uchun egri gofret o'rnatish
- · Yuqori haroratli plastinkani urish (1000°C gacha)
- · G'ovakli yoki mo'rt substratlar uchun vakuumli armatura
Ishlab chiqarish:
G'ovakli SiC plastinkasi (g'ovak hosil qiluvchi moddalar bilan hosil qilingan, sinterlangan) → ≤10 μm tekislikka qadar ishlangan → vakuum portlari va o'rnatish xususiyatlari bilan ishlov berilgan metall asos → epoksi yopishtirish yoki mexanik qisish → geliy oqishini tekshirish.
Sifat nazorati:
- · SEM tomonidan tasdiqlangan g'ovaklik va g'ovak o'lchami
- · O'tkazuvchanlik sinovi (havo oqimi)
- · Lazer interferometri bilan o'lchangan tekislik
- · Geliy oqish tezligi <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Yivli yoki zich keramik chucklarga nisbatan afzalliklari:
- · Plitalar belgisi yo'q – alohida teshiklarsiz bir xil vakuum
- · O'z-o'zini tozalaydigan teshiklar – tiqilib qolishni kamaytiradi
- · Egri gofretlarni (500 mkm gacha bo'lgan kamon) ushlab turadi
- · Metall asos mo'rt sinishning oldini oladi va integratsiyani soddalashtiradi
Cheklovlar:
- · Pastroq egilish kuchi (32–35 MPa) – zarba yuklanishidan saqlaning
- · Ishlash harorati 1000°C (g'ovakli SiC) bilan cheklangan, ammo mexanik ravishda qisilmasa, metall asosli epoksi birikmasi ≤200°C gacha cheklanadi
- · Yuqori bosimli vakuum uchun emas (g'ovakli tuzilish maksimal vakuum farqini cheklaydi)
Moslashtirish:
- · Metall asos: alyuminiy (yengil), zanglamaydigan po'lat (korroziyaga chidamli), Invar (past kengayish)
- · Bog'lash: epoksi (≤200°C) yoki mexanik qisqich (500°C gacha)
- · Zona vakuumini boshqarish uchun chekka muhrlash halqasi
Iltimos, diqqat qiling: Berilgan egilish kuchi (32–35 MPa) g'ovakliligi tufayli zich keramikaga qaraganda ancha past. Chetlarining yorilishining oldini olish uchun ehtiyotkorlik bilan ishlang.
