Fizik bug'larni cho'ktirish tizimlari uchun alumina PVD izolyatsiya halqasi
St.Cera'ning PVD izolyatsiya halqasi fizik bug' cho'ktirish (PVD) tizimlarida foydalanish uchun 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan ishlab chiqariladi. Halqa kamera komponentlari o'rtasida elektr izolyatsiyasini ta'minlaydi, yoyning oldini oladi va plazmaning barqaror ishlashini ta'minlaydi. Asosiy xususiyatlarga yuqori dielektrik kuch (15 × 10⁶ V/m), solishtirma qarshilik >10¹⁴ Ω·mm²/m va 1600°C gacha issiqlik barqarorligi kiradi. Bizning aniq ishlov berish qobiliyatimiz tashqi diametrlarni 600 mm gacha, ichki diametrlarni 0,2 mm gacha tushirish, 0,003 mm tekislik va Ra0.1 sirt qoplamasiga erishadi. Halqaning nol g'ovakliligi va kimyoviy inertligi agressiv purkash muhitida uzoq muddatli ishonchlilikni ta'minlaydi.
Texnik xususiyatlar (99,8% Al asosida)₂O₃& St.Cera ishlab chiqarish imkoniyatlari):
| Mulk | Qiymat |
| Materiallar | 99,8% alyuminiy oksidi (fil suyagi) |
| Zichlik | 3,93 g/sm³ |
| Bükülme kuchi | 361 MPa |
| Vickers qattiqligi | 16 GPa |
| Dielektrik kuch | 15×10⁶ V/m |
| Maxsus qarshilik | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksimal tashqi diametr | 600 mm |
| Minimal ichki diametr | 0,2 mm |
| Maksimal qalinlik | 100 mm |
| Tekislik | 0,003 mm |
| Parallelizm | 0,002 mm |
| Yuzaki qoplama | Ra0.1 |
| Maksimal ish harorati | 1600°C |
Ilovalar:
- · PVD tizimlarida nishonli orqa plastinka izolyatorlari
- · Kamera orqali o'tuvchi izolyatorlar
- · Purkash tizimlarida qalqon halqa izolyatorlari
- · Plazma kameralarida yuqori kuchlanishli izolyatsiya
Ishlab chiqarish aniqligi:
Konsentriklik: 0,01 mm, yumaloqlik: 0,002 mm, tekislik: 0,005 mm, perpendikulyarlik: 0,005 mm, CMM tomonidan tasdiqlangan.
APolimer izolyatorlariga nisbatan afzalliklari:
- · Polimerning <300°C chegarasiga nisbatan 1600°C ga bardosh beradi
- · Gaz chiqmaydi – vakuum yaxlitligini saqlaydi
- · Plazma eroziyasiga va kimyoviy hujumga chidamli
Moslashtirish:
Maxsus kesimlar, o'rnatish xususiyatlari, pog'onali profillar va bir nechta konsentrik halqa dizaynlari mavjud.
